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DMD光刻投影镜头

 

 

型号

DJ-DMD7.56X4K

倍率

7.56X

像方NA

0.25

物方视场

26mm

设计波长

357-376nm,中心波长365nm

畸变

绝对畸变<0.2μm

场曲

设计场曲<3μm

 

 

最大支持1英寸芯片,支持365nm、385nm、405nm波长LED

远心光学设计

曝光分辨率≤1μm,畸变≤0.01%

可根据客户需求进行定制